Chế tạo đầu dò sợi quang kích thước nano, sử dụng thu các mode WGM từ các vi cầu pha tạp erbium
Chế tạo đầu dò sợi quang kích thước nano, sử dụng thu các mode WGM từ các vi cầu pha tạp erbium
Xem bên trong

Chế tạo đầu dò sợi quang kích thước nano, sử dụng thu các mode WGM từ các vi cầu pha tạp erbium

45 tr. + CD-ROM
Mô tả nguyên lý, đặc điểm và một số ứng dụng của quang học trường gần; Trình bày nguyên lý của buồng cộng hưởng vi cầu theo hai quan điểm quang học cổ điển và quang học lượng tử, lý thuyết giải thích sự phân bố của các mode đường viền (WGM’s) hay các mode cộng hưởng phụ thuộc hình thái học (MDR’s); Nghiên cứu các kỹ thuật ghép nối tín hiệu WGM’s và điều kiện kết hợp pha trong ghép nối WGM’s; Giới thiệu phương pháp kỹ thuật chế tạo đầu dò sợi quang bằng phương pháp kéo nhiệt và phương pháp ăn mòn, trình bày kết quả của thí nghiệm và ứng dụng của đầu dò thu tín hiệu laser vi cầu thủy tinh floride “ZBLALiP’ pha tạp Erbium
Luận văn ThS. Vật liệu và linh kiện Nano — Trường Đại học Công nghệ. Đại học Quốc gia Hà Nội
Electronic Resources

0.00

Tải về miễn phí bản đầy đủ PDF luận văn tại Link bản đầy đủ 1


ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

 * 

ĐỖ NGỌC CHUNG

CHẾ TẠO ĐẦU DÒ SỢI QUANG
KÍCH THƯỚC NANO, SỬ DỤNG THU CÁC
MODE WGM TỪ VI CẦU PHA TẠP ERBIUM

LUẬN VĂN THẠC SĨ

HÀ NỘI, 2006

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

Đỗ Ngọc Chung

CHẾ TẠO ĐẦU DÒ SỢI QUANG
KÍCH THƯỚC NANO, SỬ DỤNG THU CÁC
MODE WGM TỪ VI CẦU PHA TẠP ERBIUM

Chuyên ngành: Vật liệu và Linh kiện nanô

LUẬN VĂN THẠC SĨ

NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:

PGS. TS. Trần Thị Tâm

Ha Nội – 2006
MỤC LỤC
Trang phụ bìa
Lời cảm ơn
Mục lục
Danh mục các ký hiệu, các chữ viết tắt
Danh mục các bảng
Danh mục các hình vẽ, đồ thị

Mở đầu ……………………………………………………………………… 1
Chương 1:QUANG HỌC TRƯỜNG GẦN (NEAR-FIELD
OPTICS). ……………………………………………………………

3
1.1. Khái niệm về quang học trường gần…………………………………. 3
1.2. Một số kỹ thuật đo sử dụng quang học trường gần 5
1.3. Kính hiển vi quang học trường…………………………………………. 7
Chương 2: BUỒNG CỘNG HƯỞNG VI CẦU……..……………
10
2.1. Nguyên lý………………………………………………………………
Quan điểm quang học cổ điển: ……… …………………………………
Quan điểm quang sóng lượng tử: ………………………………………
2.2. Các ký thuật ghép nối trường gần …………………… …… ……
10
11
12
15
Chương 3: CHẾ TẠO ĐẦU DÒ SỢI QUANG …… ……….. . . ..
3.1. Vật liệu chế tạo……………………………………………………….
3.2. Các thông số đặc trưng của một đầu dò sợi quang………………
3.3. Phương pháp chế tạo………………………………………………….
3.3.1. Phương pháp kéo nhiệt ……… ………………………………….
3.3.2. Phương pháp ăn mòn hoá học …………… …… ……………

18

18
18
19
19
20

Chương 4: THỰC NGHIỆM …. ……………….… …. ………… .
4.1. Phương pháp kéo nhiệ………………………………………………
4.1.1. Phương pháp nhiệt hồ quang: …………………………………
4.1.2. Phương pháp nhiệt laser:……… …………… …… …… … …
4.2. Phương pháp ăn mòn hoá học… ………… ……… ……………
4.3 Sử dụng đầu dò thu tín hiệu laser từ vi cầu pha tạp Erbium……
Kết luận và kiến nghị
Danh mục công trình của tác giả
Tài liệu tham khảo

22

22
22
23
28
33
41
42
41
46

1
MỞ ĐẦU

Quang học và quang phổ là lĩnh vực ra đời từ rất lâu. Nghiên cứu các
đặc trưng quang phổ của vật liệu cho biết nhiều đặc tính của vật liệu đó.
Trong những phép đo quang phổ thông thường, việc thu các tín hiệu phát ra từ
các tương tác quang học đều thực hiện xa nguồn, ở khoảng cách lớn hơn bước
sóng, đầu thu quang được đặt ở vị trí khá xa vật liệu cần nghiên cứu (nguồn
sáng). Những phép đo như vậy được gọi là quang học trường xa. Ngược lại
nghiên cứu quang phổ ở phạm vi rất sát bề mặt của mẫu ở khoảng cách nhỏ
hơn bước sóng là phương pháp mới trong nghiên cứu quang học quang phổ,
được gọi là quang học trường gần (SNOM), là một lĩnh vực quang học hiện
nay đang được quan tâm nghiên cứu nhiều trên thế giới. Phương pháp nghiên
cứu quang học trường gần cho ta nhiều thông tin về các tính chất vật liệu đặc
biệt trong các nghiên cứu công nghệ nanô.
Các vi buồng cộng hưởng quang học là một trong các đối tượng được
quan tâm nghiên cứu nhiều không những trong công nghệ nanô mà cả trong
lĩnh vực điện động lực học luợng tử [1,2], quang học cổ điển cũng như quang
học phi tuyến [3,4,5,6], với nhiều loại cấu hình vi cộng hưởng quang học như
vi cầu, vi đĩa hay vành khuyên…Các vi cộng hưởng tạo ra các mode quang
học có phân bố phụ thuộc vào hình thái học, các mode đó được gọi là các
mode cộng hưởng phụ thuộc vào hình thái (MDR) hay các mode đường viền
(WGM).
Vi cầu cũng là một trong các vi buồng cộng hưởng có thể tạo laser với
độ phẩm chất cao, thể tích mode nhỏ, ngưỡng thấp [6,7] và được quan tâm
nhiều trong thông tin quang, ứng dụng làm các bộ lọc quang học, các bộ
chuyển mạch quang, các sensor quang học….Laser vi cầu cũng có ứng dụng
quang trọng trong việc ổn định tần số, khuếch đại ánh sáng, khảo sát các quá
trình phi tuyến, hay trong các bộ nhớ quang.
Tuy nhiên không thể thu bức xạ từ các mode WGM bằng phương pháp
trường xa thông thường. Bức xạ WGM được nghiên cứu bởi lý thuyết Lorent-
Mie. Lý thuyết Lorent-Mie cho phép hiểu sự phân bố của WGM’s, từ đó có
được kỹ thuật đặc biệt phù hợp để thu tín hiệu WGM’s, đó là kỹ thuật sử
dụng tương tác trường gần [8,15].

2
Để thu được tín hiệu bằng kỹ thuật trường gần, có thể sử dụng nhiều
phương pháp ghép nối: bằng lăng kính, sử dụng các kênh dẫn bán dẫn hay sử
dụng các đầu dò sợi quang … Các đầu dò sợi quang với kích thước đầu cỡ
nanô mét là công cụ thu rất tốt trong kỹ thuật trường gần. Phương pháp này
còn có ưu điểm đơn giản trong chế tạo và lắp đặt. Có nhiều phương pháp
dùng để chế tạo đầu dò sợi quang như phương pháp kéo nhiệt, phương pháp
ăn mòn hoá hay phương pháp mài mòn cơ. Trong luận văn này, đầu dò sợi
quang được chế tạo bằng cả hai phương pháp: Phương pháp kéo nhiệt sử dụng
laser CO2 và nguồn nhiệt hồ quang, phương pháp ăn mòn hóa học sử dụng
dung dịch ăn mòn HF và NH4F.
Luận văn tập trung vào nghiên cứu các vấn đề trong kỹ thuật chế tạo
đầu dò bằng sợi quang vuốt nhọn đến kích thước nanô mét, một số đặc tính
trong cơ chế ghép nối quang trường gần trong thí nghiệm ghép nối đầu dò thu
tín hiệu laser vi cầu thuỷ tinh floride “ZBLALiP” pha tạp Erbium. Luận văn
gồm có 4 chương:
Chương 1 mô tả nguyên lý, đặc điểm và một số ứng dụng của quang
học trường gần.
Chương 2 trình bày nguyên lý của buồng cộng hưởng vi cầu theo hai
quang điểm quang học cổ điển và quang học lượng tử, lý thuyết giải
thích sự phân bố của các mode đường viền (WGM’s) hay các mode
cộng hưởng phụ thuộc hình thái học (MDR’s).
Chương 3 đề cập đến các kỹ thuật ghép nối tín hiệu WGM’s. Điều
kiện kết hợp pha trong ghép nối cũng được trình bày tại đây.
Chương 4 giới thiệu phương pháp kỹ thuật chế tạo đầu dò sợi quang
bằng phương pháp kéo nhiệt và phương pháp ăn mòn.
Chương 5 trình bày kết quả chế tạo đầu dò sợi quang kích thước nanô
mét và ứng dụng của đầu dò thu tín hiệu laser vi cầu thuỷ tinh floride
“ZBLALiP” pha tạp Erbium. Kết quả phổ tín hiệu được thu bằng các
đầu dò đã chế tạo cũng được trình bày và thảo luận.
3
CHƯƠNG 1
QUANG HỌC TRƯỜNG GẦN (NEAR-FIELD OPTICS)
Quang học là lĩnh vực phát triển rất sớm và có rất nhiều ứng dụng.
Tuy nhiên trong các kỹ thuật quang học thông thường, khả năng phân giải
của các thiết bị quang học bị hạn chế bởi giới hạn nhiễu xạ khi giảm kích
thước tới cỡ bước sóng. Vì vậy các thiết bị quang học không thích ứng được
với các mạch tích phân điện tử có kích thước nhỏ hơn rất nhiều.
Sự ra đời của NFO đã phá vỡ giới hạn nhiễu xạ trong quang học, mở
ra những ứng dụng mới trong các lĩnh vực nghiên cứu Khoa học và Công
nghệ, đặc biệt là Công nghệ nanô.
1.1. KHÁI NIỆM VỀ QUANG HỌC TRƯỜNG GẦN
Khi nghiên cứu các tính chất hay cấu trúc của vật liệu bằng phương
pháp quang phổ, chúng ta thường đặt đầu thu quang ở xa vị trí nguồn phát
xạ hay vật liệu cần nghiên cứu: khoảng cách lớn hơn nhiều lần bước sóng
ánh sáng kích thích. Phép đo như vậy được gọi là phép đo quang học trường
xa. Trong phép đo quang học trường xa, độ phân giải của thiết bị thu quang
bị giới hạn bởi hiện tượng nhiễu xạ và không thể vượt quá ½ bước sóng.
(NFO)cho phép vượt qua được sự hạn chế về giới hạn nhiễu xạ đó.
Khi ánh sáng truyền trong sợi quang, qua lăng kính hay trong các
buồng cộng hưởng, nhờ hiện tượng phản xạ toàn phần mà ánh sáng đổi
hướng và bị giam giữ trong môi trường lan truyền. Tuy nhiên theo quang
học lượng tử, một phần ánh sáng có thể truyền qua mặt phân cách và có điện
trường giảm theo hàm mũ phụ thuộc vào khoảng cách từ bề mặt phân cách
giữa hai môi trường, được gọi là trường suy giảm hay trường mờ (EF) [8,9].
Có thể coi như trường mờ định xứ tại sát ngay bề mặt phân cách giữ hai môi
trường, ở khoảng cách bước sóng. Quang học xem xét các tương tác trong
phạm vi trường mờ đó được gọi là Quang học trường gần (NFO). Bằng các
phép đo NFO chúng ta loại bỏ được giới hạn của hiện tượng nhiễu xạ ánh
4
sáng và trên cơ sở đó có thể chế tạo các thiết bị đo quang như kính hiển vi
quang học trường gần với độ phân giải không phụ thuộc vào bước sóng. Tín
hiệu trường gần có thể cung cấp nhiều thông tin cả về cấu trúc cũng như đặc
điểm về bề mặt của mẫu (hình 1.1).

Hình 1.2: Hiện tượng trường gần, (Trường gần sau lỗ nhỏ hơn bước sóng,
Trường xa
(d2>>
a<< Trường gần (d1<< Màn chắn d1 d2  (a) n2 c n1>n2
Trường gần
(c)
n2=1
n1=1.5
(d)
(b)
Microsphere

Trường gần
Hình 1.1 Hiện tượng quang học trường gần, (a) tán xạ trường gần bởi
phần tử nhỏ cỡ bước sóng, (b) tán xạ trường gần bởi mũi đầu dò có kích
thước cỡ bước sóng
Kích thước cỡ
nano (nhỏ hơn
bước sóng)
Trường tăng mạnh
Cấu trúc nano
Ánh sáng kích
thích
(a) (b)
5
(b) trường gần xung quanh vi cầu điện môi, (c) trường gần bên ngoài sợi
quang và (d) trường gần sau mặt phản xạ toàn phần của lăng kính.
Trên hình 1.1 và 1.2 là một số thí dụ trường gần hay trường suy giảm:
trường ánh sáng xuất hiện tại ngay sau lỗ nhỏ với kích thước nhỏ hơn bước
sóng (hình 1.2a), ở mặt bên kia của mặt phản xạ toàn phần (hình 1.2b, c, d),
hay ánh sáng tán xạ từ các phần tử rất nhỏ, có kích thước nhỏ hơn bước sóng
(hình 1.1e) [10,11,12]. Đối với vi cầu (hình 1.2b) trường ánh sáng bị giam
giữ chặt bên trong, hình thành các mode WGM. Chỉ một phần rất nhỏ năng
lượng của các mode WGM lọt ra ngoài, phân bố tại sát bề mặt xung quanh
của vi cầu.
Sự xem xét các tương tác trong phạm vi trường mờ đó được gọi là
quang học trường gần. Bằng các phép đo quang học trường gần chúng ta
vượt qua được giới hạn của hiện tượng nhiễu xạ ánh sáng và trên cơ sở đó
có thể chế tạo các thiết bị đo quang như kính hiển vi quang học trường gần
với độ phân giải không phụ thuộc vào bước sóng. Tín hiệu trường gần có thể
cung cấp nhiều thông tin cả về cấu trúc cũng như đặc điểm về bề mặt của
mẫu. Việc thu tín hiệu trường gần là tương đối khó, đòi hỏi phải có các đầu
dò với kích thước nhỏ.
1.2. MỘT SỐ KỸ THUẬT ĐO SỬ DỤNG QUANG HỌC TRƯỜNG
GẦN
Hai kỹ thuật chính sử dụng NFO để khảo sát vật liệu: Kỹ thuật thu
phổ tán xạ trường gần và kỹ thuật thu phổ phát xạ trường gần [8,12]. Đầu dò
sử dụng trong các kỹ thuật này thường được chế tạo từ sợi quang hoặc Silic.
Kỹ thuật thu phổ tán xạ trường gần được mô tả như trong hình 1.3a,
gồm một đầu dò có kích thước cỡ nano và một nguồn sáng kích mẫu. Khi
dịch chuyển đầu dò vào phạm vi trường mờ định xứ ngay sát bề mặt của
mẫu, chúng ta có thể thu được tín hiệu trường mờ tán xạ bởi đầu dò tán xạ
(1.3a).
6

Kỹ thuật thu phổ phát xạ trường gần được mô tả như trong hình 1.3b.
Sợi quang hoặc Si được ăn mòn, sau đó phủ kim loại và tạo lỗ nhỏ với kích
thước cỡ nano tại đỉnh của đầu dò. Quá trình chế tạo đầu dò dạng này được
mô tả dưới hình 1.4.

(1): Silic và sợi quang đã được tạo dạng típ nhọn bằng ăn mòn hoặc
bằng kéo nhiệt.
Ánh sáng
kích thích
Tán
xạ
trường
gần
: Ánh sáng kích thích
: Tín hiệu trường gần
Đầu dò thu
trường gần
Phát
xạ
trường
gần
Hình 1.3: Sơ đồ kỹ thuật đo trường gần, (a) kỹ thuật thu phổ tán xạ trường gần,
(b) kỹ thuật thu phổ phát xạ trường gần.
Đầu dò tán xạ
trường gần
(a) (b)
Đầu dò
bằng Si
Đầu dò
bằng sợi
quang
Típ
nhọn
Lớp kim
loại
Lỗ nhỏ hơn
bước sóng
Hình 1.4: Đầu dò thu trường gần
(1) (2) (3) (4)
7
(2): Hình ảnh phóng to của típ.
(3): Típ nhọn được phủ kim loại. Lớp kim loại có tác dụng che chắn
cũng như bảo vệ típ nhọn.
(4): Típ nhọn đã được tạo lỗ nhỏ tại đỉnh. lỗ nhỏ cỡ bước sóng. Kích
thước của lỗ nhỏ quyết định độ phân giải của đầu dò.
Nguồn kích thích mẫu có thể chiếu trực tiếp qua đầu dò hoặc gián tiếp.
Do kích thước của đầu dò nhỏ hơn bước sóng nên tín hiệu đằng sau đầu dò
hay tín hiệu thu được từ bề mặt của mẫu bằng đầu dò là tín hiệu trường gần.
Để thu được tín hiệu trường gần, đầu dò được gắn với các thiết bị thu cực
nhạy như avalanche photodiode, máy đếm photon hoặc sử dụng thiết bị đo
tần số dao động cộng hưởng của đầu dò. Kỹ thuật đo này ngoài việc có thể
khảo sát bề mặt của mẫu còn có thể sử dụng trong các phép đo phổ huỳnh
quang, hay phổ Raman của mẫu.
1.3. KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC TRƯỜNG GẦN
Một trong nững ứng dụng vĩ đại nhất của kỹ thuật đo trường gần đó là
kính hiển vi quang học trường gần (SNOM). SNOM sử dụng kỹ thuật quýet
đầu dò trong phạm vi trường gần để thu các tín hiệu trường gần phát ra từ bề
mặt của mẫu hoặc sử dụng tín hiệu trường gần để phản hồi điều chỉnh dịch
chuyển của đầu dò, từ đó có thể khảo sát được các thông tin bề mặt của mẫu.
Trong SNOM thành phần quan trọng, quyết định độ phân giải đó là đầu dò.
Dưới đây là sơ đồ nguyên lý hoạt động của một đầu dò sợi quang sử dụng
nguyên lý quang học trường gần:
8

Hình 1.5: Nguyên lý khảo sát bề mặt mẫu sử dụng trường gần
Đầu dò sợi quang (probe Tip) có lỗ (aperture) nhỏ hơn bước sóng kích
thích. Do lỗ nhỏ hơn bước sóng nên trường gần được duy trì ngay sau đầu
dò. Khoảng cách của đầu dò được điều chỉnh ngay sát bề mặt của mẫu
(Specimen) ở khoảng cách không đổi (nhỏ hơn bước sóng). Mẫu được điều
chỉnh 3 chiều x, y, z (x-y-z Scanner). Khi mẫu dịch chuyển, khoảng cách
giữa đầu dò và mẫu thay đổi, sự thay đổi này phản hồi lại thiết bị điều khiển
vị trí của đầu dò, từ đó mô phỏng được hình dạng ba chiều của mẫu. Độ
phân giải của một SNOM hiện tại từ 50÷100 nm. Bằng việc sử dụng thấu
kính (objective) đo trường xa ta cũng mô phỏng được hình dạng bề mặt của
mẫu, tuy nhiên với độ phân giải không cao.
Ngoài ứng dụng trong thiết bị kính hiển vi trường gần, (NFO)còn có
nhiều ứng dụng như trong công nghệ vi hình, sử dụng nguồn trường gần có
thể vẽ được các chi tiết nhỏ cỡ vài chục nano. Trong sinh học sử dụng đầu
dò trường gần có thể phân tích các mẫu trong trạng thái lỏng, hay có thể tìm
vị trí các mầm bệnh gây bệnh. Một ứng dụng mới và có ý nghĩa trong công
nghệ thông tin đó là ứng dụng làm bộ nhớ quang học trường gần.
Dưới đây là sơ đồ hoàn chỉnh của một thiết bị SNOM:
9

Hình 1.6: Sơ đồ nguyên lý hoạt động của SNOM

10
CHƯƠNG 2
BUỒNG CỘNG HƯỞNG VI CẦU
Buồng cộng hưởng vi cầu là một dạng buồng cộng hưởng có độ phẩm
chất cao, dễ chế tạo và có nhiều ứng dụng trong thông tin quang như các bộ
lọc quang, các bộ suy giảm chọn lựa bước sóng hay các chuyển mạch quang
học cũng như sử dụng làm sensor thu các tín hiệu nhỏ.… [14,15-19].
2.1. NGUYÊN LÝ
Xét trường hợp ánh sáng lan truyền trong vi cầu điện môi với chiết
suất lớn hơn môi trường bên ngoài. Nếu ánh sáng lan truyền bên trong tới bề
mặt vi cầu với góc tới  < c (c là góc giới hạn phản xạ toàn phần giữa hai môi trường tuân theo định luật Snell), tín hiệu sẽ đi ra ngoài (Hình 2.1). Ngược lại  >c do hiện tượng phản xạ nội toàn phần tại mặt phân cách
giữa vi cầu và môi trường bên ngoài, ánh sáng sẽ bị giam giữ bên trong vi
cầu và đi vòng quanh dưới bề mặt. Sau mỗi vòng kín, nếu tín hiệu có pha
trùng với pha ban đầu, sẽ tạo ra sự cộng hưởng. Mỗi chu trình cộng hưởng
đó được đặc trưng bởi một tần số cộng hưởng riêng, hay còn gọi là các
mode quang học, phân bố vòng quanh ở sát bề mặt vi cầu [19,20]. Hình
dạng của vi cầu ảnh hưởng rất nhiều vào sự hình thành cũng như phân bố
của các mode quang học này, chính vì vậy các mode này được gọi là các
mode cộng hưởng phụ thuộc vào hình thái học (MDR-Mophology
Dependent Resonances) hay các mode đường viền (WGM – Wishpering
Gallery Modes). Để hiểu nguyên lý, sự hình thành các mode MDR chúng ta
xem xét buồng cộng hưởng vi cầu dưới hai quan điểm: Quang học cổ điển
và quang học lượng tử:

11
Quang học cổ điển

(a) (b)
Hình 2.1: (a) Chu trình ánh sáng trong giới hạn quang hình học cổ điển, (b)
chu trình ánh sáng như sự minh hoạ quang học lượng tử
Để tín hiệu có thể quay lại cùng pha với thời điểm ban đầu thì chu vi
của vi cầu phải là bội của bước sóng của tín hiệu lan truyền trong vi cầu:
2πR = ℓ
)(

m
(2.1)
ℓ là số bước sóng trong một chu trình (l là số nguyên),  là bước sóng, R là
bán kính vi cầu, m() là chiết suất của vi cầu.
Đặt  /2 Rx  , tham số không thứ nguyên, khi đó điều kiện cộng
hưởng sẽ là:
)(m
l
x  (2.2)
Theo cơ học cổ điển mômen động lượng của nó là:
p = ħk =ħ 2π

)(m
(2.3)
Trong đó ħ là hằng số Planck chia cho 2π , và k là số sóng. Nếu ánh
sáng đi tới bề mặt của vi cầu theo phương gần như tiếp tuyến ( 2 in ) thì
mô men góc được biểu diễn như là ħℓ:
ħℓ ≈ ap = a2πħ

)(m
(2.4)
c
l=30

Tác giả

Đỗ Ngọc Chung

Nhà xuất bản

ĐHCN

Năm xuất bản

2006

Người hướng dẫn

Trần Thị Tâm

Định danh

V_L0_00995

Kiểu

text

Định dạng

text/pdf

Chủ đề

Công nghệ Nano,Khoa học vật liệu,Linh kiện nano,Đầu dò sợi quang

Nhà xuất bản

Khoa vật lý kỹ thuật và công nghệ nano,

Trường đại học Công nghệ

Các đánh giá

Hiện chưa có đánh giá cho sản phẩm.

Hãy là người đầu tiên đánh giá “Chế tạo đầu dò sợi quang kích thước nano, sử dụng thu các mode WGM từ các vi cầu pha tạp erbium”

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *